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HF700DL-II型(xing)類金剛(gang)石(shi)沉積設備(bei)

（應(ying)用于紅外(wai)光學器件(jian)）


真空室：臥(wo)式(shi)頂蓋升(sheng)降，內腔Φ700×500mm，,304不銹鋼

真空系統：直聯泵(beng)(beng)+F250分子泵(beng)(beng)

極限真空：2.0E-4pa

恢復真空：大氣至5.0E-3pa≤15min

?????????Φ450mm水冷(leng)銅陰極靶(ba)和304陽極靶(ba)，靶(ba)間距(ju)（100-300mm）可上下調節

電源：進(jin)口RF（13.56MHz）電源，2.5KW可調

充氣系統：2個(ge)(ge)前級儲氣瓶，2個(ge)(ge)后級混氣瓶，配壓力表；4路進氣，流量控制及壓強控制

溫度測量：樣品及陰極靶2套(tao)

操作系統：可(ke)自動和手動操作，工藝(yi)參數設置，完善的水電檢測報警功能

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